S10359Si フォトダイオード
機能
-ArF エキシマレーザー放射に対する高い信頼性 (λ = 193 nm)
・樹脂材料が使用されていないため、アウトガスによる UV 感度低下なし
パッケージに
-大規模なアクティブエリア:10 ×10ミリメートル/象限
感光面積:10 ×10mm
要素数: 1
パッケージ: 金属
冷却: 非冷却
逆電圧 (最大):20 V
分光応答範囲: 193 ~ 1000 nm
ピーク感度波長 (標準): 760 nm
光線過敏 (標準): 0.06 A/W
暗電流 (最大): 500 pA
立上り時間 (標準): 1 μ s
端子容量 (標準): 500 pF
測定条件 Ta = 25 ℃、標準、特に断りのない限り、
感光性: λ = 193 nm、暗電流: vr = 10 mV、端子容量: vr = 0 v、f = 10 kHz、立ち上がり時間: vr = 0 v
機能
-ArF エキシマレーザー放射に対する高い信頼性 (λ = 193 nm)
・樹脂材料が使用されていないため、アウトガスによる UV 感度低下なし
パッケージに
-大規模なアクティブエリア:10 ×10ミリメートル/象限
感光面積:10 ×10mm
要素数: 1
パッケージ: 金属
冷却: 非冷却
逆電圧 (最大):20 V
分光応答範囲: 193 ~ 1000 nm
ピーク感度波長 (標準): 760 nm
光線過敏 (標準): 0.06 A/W
暗電流 (最大): 500 pA
立上り時間 (標準): 1 μ s
端子容量 (標準): 500 pF
測定条件 Ta = 25 ℃、標準、特に断りのない限り、
感光性: λ = 193 nm、暗電流: vr = 10 mV、端子容量: vr = 0 v、f = 10 kHz、立ち上がり時間: vr = 0 v
顧客評価: 0